一、環境條件
1、溫度和濕度控制：確保實驗室內的溫度和濕度保持在適宜的范圍內，通常溫度控制在18~25℃之間，相對濕度在40%~70%之間。這有助于防止電子元件受潮損壞，并保持機械部件的性能穩定。
2、防塵：定期清潔顯微鏡周圍的環境，減少灰塵積累。可以使用無紡布或毛刷清理顯微鏡表面的灰塵，避免灰塵進入顯微鏡內部影響成像質量。
3、防震：將顯微鏡放置在穩固的工作臺上，遠離震動源，如大型設備、交通要道等。如果實驗室內有頻繁的震動，可以考慮安裝減震臺來減少震動對顯微鏡的影響。
4、磁場控制：避免將顯微鏡放置在強磁場附近，如磁鐵、變壓器等。磁場可能會干擾電子束的正常運動軌跡，影響圖像質量。
二、光學系統維護
1、鏡頭清潔：定期檢查物鏡、目鏡等光學部件是否干凈，如有灰塵或污漬，使用專用的鏡頭紙或擦鏡紙輕輕擦拭。避免使用有機溶劑或粗糙的材料擦拭鏡頭，以免刮傷鏡片。
2、照明系統檢查：對于配備照明系統的掃描顯微鏡，定期檢查燈泡的亮度是否正常，燈絲是否完好。如果發現燈泡亮度不足或燈絲斷裂，及時更換燈泡。同時，檢查照明系統的電路連接是否松動，確保照明穩定。
3、濾光片清潔與更換：如果顯微鏡配備了濾光片，定期清潔濾光片表面的灰塵和污漬。當濾光片老化或損壞時，及時更換新的濾光片，以保證圖像的色彩還原和對比度。
三、電子光學系統維護
1、真空系統維護：定期檢查真空系統的密封性，確保真空度符合要求。如果發現真空度下降，及時檢查真空泵、真空管道等部件是否有泄漏，并進行維修。定期更換真空泵的油，保證真空泵的正常運行。
2、電子槍維護：減少開關電子束高壓和抽放真空的次數，保持鏡筒的高真空度，減緩燈絲的氧化。在日常使用中切勿關閉燈絲，觀察樣品一定要干燥，不含水分和其他揮發性物質，以防引起燈絲熔斷或驟滅。
3、物鏡光闌維護：采用較遠的工作距離和合適的光闌孔徑，保持光闌清潔。盡量減少真空系統自身帶來的污染，延長光闌的使用壽命，如機械泵應定期換油，冷卻循環水機要有足夠的制冷量。磁性樣品要預先消磁，生物等含水或易揮發溶劑的樣品必須干燥，以防氣體揮發造成光闌等部件的損壞。
四、機械部件維護
1、載物臺清潔與潤滑：定期清潔載物臺表面，去除樣品殘留和灰塵。檢查載物臺的移動是否順暢，如有必要，可以在導軌上涂抹適量的潤滑油，但要注意不要讓潤滑油污染光學部件。
2、調焦機構檢查：檢查調焦機構的靈活性和準確性，確保載物臺能夠平穩地上下移動。如果發現調焦機構有卡頓或不靈活的情況，及時進行調整或維修。
五、軟件系統維護
1、更新與備份：定期更新顯微鏡的控制軟件和驅動程序，以確保軟件功能的完整性和穩定性。在進行軟件更新之前，建議先備份重要的數據和配置文件，以防更新過程中出現意外情況導致數據丟失。
2、參數設置檢查：定期檢查顯微鏡的軟件參數設置是否正確，如放大倍數、亮度、對比度、色彩平衡等。如果發現參數設置異常，及時進行調整，以保證圖像的準確性和可重復性。
六、日常使用注意事項
1、規范操作：嚴格按照操作規程使用顯微鏡，避免誤操作造成設備損壞。在使用前，仔細閱讀儀器的使用說明書和操作指南，熟悉儀器的功能和操作方法。
2、開機預熱：在打開電源后，讓顯微鏡預熱一段時間，使其達到穩定的工作狀態。不同型號的顯微鏡預熱時間可能有所不同，一般建議預熱15-30分鐘。
3、關機順序：使用完畢后，按照正確的關機順序關閉顯微鏡。先關閉高壓、加熱裝置等，再關閉計算機和顯示器等外部設備。最后，關閉顯微鏡的電源開關，并拔掉電源線。
ZEISS掃描顯微鏡的日常維護需要從多個方面入手，包括環境條件控制、光學系統、電子光學系統、機械部件等。通過定期進行這些維護工作，可以確保顯微鏡的穩定性和可靠性，延長其使用壽命，并獲得高質量的顯微圖像。
