作為全球光柵制造領域的重要技術,英國光柵刻蝕憑借超高精度的微觀加工能力,成為制備高性能光柵元件的核心工藝。它通過物理或化學方法在基底材料表面刻蝕出周期性微觀結構,賦予光學元件分光、濾波、調諧等關鍵功能,在光譜分析、激光技術、天文觀測等光學領域發揮著重要的作用。
超高刻蝕精度是英國光柵刻蝕的核心優勢。其采用的全息干涉光刻與離子束刻蝕相結合的技術,可實現納米級的線寬控制與周期性調節,刻蝕線條的均勻性誤差能控制在1%以內。例如在光譜儀的衍射光柵制造中,光柵刻蝕技術可在硅或玻璃基底上刻蝕出數千條每毫米的平行刻線,確保光譜分析的分辨率達到0.001nm,為物質成分檢測提供精準數據支撐。在激光雷達系統中,通過該技術制備的光柵可實現激光波長的精準調諧,提升雷達的測距精度與抗干擾力。

多樣化的刻蝕工藝使其適配不同應用需求。針對不同基底材料與結構要求,英國光柵刻蝕發展出電子束刻蝕、反應離子刻蝕等多種工藝。在半導體行業,它可用于制備光柵耦合器等光電子器件,實現光信號的高效傳輸;在天文望遠鏡的光譜儀中,大尺寸平面光柵通過英國刻蝕技術制備,能捕捉遙遠天體的微弱光譜信號,助力天體物理研究。此外,在AR/VR設備的光波導鏡片制造中,微納光柵的刻蝕精度直接影響成像效果,英國技術憑借穩定的工藝控制成為行業理想選擇。
如今,英國光柵刻蝕技術持續向大尺寸、高分辨率方向突破,不僅推動了光學元件的性能升級,更成為光學裝備研發的核心支撐,為全球光學科技的進步提供了關鍵工藝保障。